웨이퍼 반송 로봇

세계 최고의 점유율을 자랑하는 가와사키의 웨이퍼 반송 로봇.
독자의 구동 기구에 의해 고정밀도, 고강성 동작을 실현합니다.
SEMI-F47 (반도체 장치의 전압 규격) 및 SEMI-S2 (반도체 제조 장치의 안전 가이드라인) 규격에 대응합니다.

NTJ 시리즈

■ 독자적인 구동 구조를 통해 고정밀도의 부드러운 동작을 실현

TTJ 시리즈

■ 텔레스코픽 구조를 채택해 상하로 보다 넓은 동작 범위를 실현

NTH 시리즈

■ 롱 암 구조로 주행장치 없이 4FOUP 장치에 대응

NX 시리즈

■ 컴팩트한 암 설계로 작은 공간에서 설치 가능