ウェハ搬送ロボット

世界トップシェアを誇る川崎重工のウェハ搬送ロボット。
独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現しています。
SEMI-F47規格（半導体装置の電圧降下規格）とSEMI-S2規格（半導体製造装置の安全ガイドライン）に対応しています。
リングフレームや基板搬送にも対応できます。

NTJシリーズ

独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現

TTJシリーズ

テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立

NTHシリーズ

回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP装置に対応

NXシリーズ

コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能